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Inspektionseinheit

Waferinspektion für Wafergrößen 6" / 8" mit beweglichen Aufnahmechuck


Die 30 Watt Inspektionseinheit wurde für die Inspektion in der Photolitographie entwickelt. Der Wafer kann auf dieser Inspektionseinheit auf einen 6" bzw. 8" Chuck abgelegt werden, und um 20° auf und ab bewegt werden. Durch die Abschottung der schwarzen Seitenflächen kommt es zu keinen Reflektionen. Somit ist ein Inspektionseinsatz im Gelblichtbereich problemlos möglich.

Diese Standeinheit ist auch vollautomatisch mit Sortier und Handlingseinheit bestellbar.

Befestigungsmöglichkeiten:

Wird als Standeinheit auf einen Reinraumtisch aufgebaut.

Stromversorgung:

110 Volt bis 230 Volt / 50 Hz

Produktspezifikation:
  • Kein UV bzw. Infrarotlicht (auch bei weiß)
  • Lange Lebensdauer 10 Jahre auf den LED.
  • Farbauswahl für jeden Inspektionprozess