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Flatbelichter


Der Flatbelichter ermöglicht es, den Flat bei 6" Wafern zu belichten und den in dieser Zone befindlichen Fotolack auszuhärten.

Die Lichtquelle wird über eine Leuchtdiode hergestellt, welch auf einer Druckplatte zu je 8 Einheiten aufgelötet sind. Die Belichtungszeit wird mit 20 bis 200 sec. laut Tests der Leuchtdiode eingestellt.

Der Flatbelichter besteht aus 2 getrennten Belichtungs-einheiten, damit ein gesicherter Betrieb gewährleistet ist. Bei einem Defekt bzw. Diodentausch wird auf der 2 Belichtungs-einheit weitergefahren. Die 2 Flatbelichter sind in kompakter Kastenbauweise mit elektrischer Verdrahtung und Steuerung konzipiert.

Die Horden (5“ bzw. 6“) werden über eine Horden-aufnahmeplatte über der Belichtungseinheit zentriert aufgesetzt. Alle Wafer werden in einem Bearbeitungs-schritt belichtet.

  • Pos.1 Lichtampel
  • Pos.2 Hordenanschlag
  • Pos.3 Hordenaufnahme
  • Pos.4 Wafergreifer
  • Pos.5 Lichtsensoren
  • Pos.6 Schlüsselschalter
  • Pos.7 Bedienfront
  • Pos.8 Taster